凯发K8国际娱乐官网入口|我也是花下载|关于国家工信部突然官宣的“国产光刻机”你
凯发K8官网首页◈◈，凯发APP◈◈。凯发K8官网凯发APP官网◈◈！台湾积体电路◈◈，起因◈◈，是9月9日国家工信部发布的一个通知◈◈：《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024版）》◈◈。
这两行◈◈，是什么意思？是连一个形容词都没有◈◈，就突然静悄悄地官宣了中国自己的新光刻机吗？
下面那款光刻机的介绍里◈◈，怎么还有一个“≤8nm”？天哪◈◈，那不就是突破了卡脖子的“7nm”？
很快◈◈，有人说◈◈：太好了◈◈。轻舟已过万重山◈◈，实锤了◈◈。中国终于有了自己的7nm光刻机◈◈，可以造出自己的7nm芯片◈◈，不怕再被卡脖子了◈◈。
可是◈◈，还有人说◈◈：别激动◈◈。只是误会◈◈。那个“8nm”不是重点◈◈，它上面那个“65nm”才是◈◈。国产芯片还只在65nm的水平◈◈，努努力最多也就能够到28nm◈◈，离7nm还远得很◈◈。
“造出7nm芯片”◈◈，到底是个什么概念？做到这件事◈◈，真的很了不起吗？国家工信部《目录》里的那寥寥几个字◈◈，又意味着什么？我们在芯片上的脖子◈◈，还卡着吗？
我的感觉是◈◈，或许◈◈，可以先晚点再“感觉”◈◈。因为◈◈，对于大部分人来说◈◈，造芯片这件事◈◈，太陌生了◈◈。
“此次官宣的国产光刻机◈◈，是一个套刻≤8nm◈◈，分辨率65nm◈◈，干式◈◈，波长193nm◈◈，DUV光刻机◈◈。”
句子不算长◈◈，没有一个生僻字◈◈。但◈◈，如果不是对这行有了解的专业人士◈◈，有多少人能看懂？又能看懂多少个词？
一年前的8月29日◈◈，华为Mate60 Pro手机◈◈，在没有任何宣传的情况下◈◈，突然开售◈◈。
紧接着◈◈，那几天从各大热搜榜◈◈，到我的朋友圈◈◈，都被一个词刷屏了◈◈：7nm芯片◈◈。
很多第一批抢购到这款手机的人◈◈，无论国内国外◈◈，都在不约而同地做一件事◈◈：拆◈◈。
把手机里的那块麒麟9000S芯片拆出来◈◈，跑分◈◈，验性能◈◈，看做到了什么水平◈◈。
刚好◈◈，那段时间我的直播间请来了《芯片战争》的作者◈◈，余盛老师◈◈。我也借此机会看了一些资料◈◈，请教了一些朋友◈◈。
主打一个既有更多干活儿的员工◈◈，能帮你做更多更大的项目◈◈，又少耗你的电◈◈，少占你的地◈◈。
所以◈◈，注意凯发K8国际娱乐官网入口◈◈，最开始聊芯片◈◈，说“你这是28nm芯片”◈◈，“我这是14nm芯片”时凯发K8国际娱乐官网入口◈◈，28nm, 14nm◈◈，指的并不是芯片的大小◈◈，不是晶体管的大小◈◈，也不是晶体管和晶体管之间的距离◈◈，而是晶体管里的这个“沟道宽度”◈◈。
卷到“7nm芯片”时◈◈，“沟道宽度”是不是线nm凯发K8国际娱乐官网入口◈◈，已经不是重点◈◈，各有说法了◈◈，但本质没变◈◈：
更小的纳米制程◈◈，就意味着更好的PPA◈◈，可以在更小的“办公室”里◈◈，塞下更多“员工”◈◈。
因为◈◈，光塞得下还不够◈◈，你怎么才能在指甲盖那么点地方◈◈，把这成万上亿的员工◈◈，安排得明明白白？
这事◈◈，说复杂◈◈，可以很复杂◈◈。一台光刻设备◈◈，十万多个零件◈◈，价格动辄上亿美金还不包邮◈◈，算下来比一台波音737还贵◈◈。就只为能干成这件事◈◈。
传统的胶片电影放映时◈◈，会先打出一束光◈◈，让光线穿过一个像放大镜一样的镜头◈◈，再穿过一层电影胶片◈◈，就能把胶片上的图案◈◈，投射到银幕上◈◈。
光刻也类似◈◈。也是打出一束光◈◈，穿过一组透镜系统◈◈，再穿过一层掩膜版◈◈，就能把掩膜版上刻着的电路图◈◈，投射到制作芯片的衬底◈◈，也就是晶圆片上◈◈。
区别只在于◈◈，放电影◈◈，是用“放大镜”◈◈，把小图投成大图◈◈。光刻◈◈，则是用“缩小镜”◈◈，把大图投成小图◈◈。
一张7nm芯片的电路图◈◈，要把几十上百亿个晶体管和其它电子元件◈◈，都安排得明明白白◈◈。
并且◈◈，从晶体管◈◈，到连接晶体管的导线我也是花下载◈◈，都精细到了纳米级凯发K8国际娱乐官网入口◈◈，比你家菜刀的刀刃还要细上10万倍◈◈。
有行业里的人曾形容◈◈：这就相当于要在一个指甲盖大小的地方◈◈，刻出整个上海◈◈。而且不能刻漏一间房◈◈，不能刻歪一条路◈◈。
太疯狂了◈◈。这要怎么刻？怎么刻◈◈，才能 “快◈◈、准◈◈、稳”地刻出这种电路图的沟沟壑壑？靠激光吗？
可是◈◈，激光直写◈◈，纳米压印……一个个方法试下来◈◈，有的很贵◈◈，有的很慢◈◈，还有的很容易报废◈◈，很难商业化◈◈，谁这么刻谁亏钱◈◈。
涉及的工艺虽然很多◈◈，但思路大体上和“把大象关进冰箱”也差不多◈◈，主要就四步◈◈：
没线条遮着的地方◈◈，光透过去了◈◈，和光刻胶一照面◈◈，光刻胶就变成了另一种脾气◈◈。
光刻胶依然没被溶解的地方◈◈，相当于覆盖了一层保护膜◈◈，而光刻胶被溶解了的地方◈◈，会直接接触到腐蚀液◈◈，被“快◈◈、准◈◈、狠”地蚀刻出与电路图相对应的沟沟壑壑◈◈。
因为波长越短的光◈◈，衍射的扩散角度越小◈◈，换句话说◈◈，就是越会乖乖走直线◈◈，不糊不乱跑◈◈，你指哪儿它打哪儿◈◈。
你有没有能力在成本可控的前提下◈◈，稳定而持续地发出它？你的光刻胶和它来不来反应？你的其它工艺流程能不能和它兼容？
很多人认为◈◈，用这把“光刀”的光刻设备◈◈，基本只能刻出20nm以上制程的芯片◈◈。
EUV◈◈，也是一种光的名字◈◈：Extreme Ultra-violet（极紫外光）凯发K8国际娱乐官网入口◈◈。看名字就知道◈◈，这种光卷得更狠◈◈，波长可以短到只有13.5nm◈◈。
谁拥有了这把刀◈◈，谁就有机会再往前一步◈◈，刻出7nm◈◈，甚至◈◈，5nm◈◈，3nm这样更先进的芯片◈◈。
2018年◈◈，中国的中芯国际◈◈，拿出了相当于它全年利润的1.2亿欧元◈◈，向ASML订购了中国第一台EUV光刻设备◈◈。
但是◈◈，美国发声了◈◈。声称EUV光刻设备中有20%的美国零件◈◈，想要出口必须征求他们的同意◈◈。而他们不同意◈◈。
在晶圆表面和透镜之间◈◈，加上一层超纯水◈◈，纯净到不含矿物质◈◈、颗粒◈◈、细菌◈◈、微生物等任何杂质◈◈，只有氢离子和氢氧根离子的超纯水◈◈。
193nm的深紫外光◈◈，在水中的折射率为1.44◈◈，波长可以进一步缩短到134nm凯发K8国际娱乐官网入口◈◈。
这个方法◈◈，把DUV光刻设备◈◈，从“在空气里刻”的干式时代◈◈，直接带进了“在水里刻”的浸没式时代◈◈。
靠这个方法迭代 “刀刃”◈◈，你有可能在你班里提提名次◈◈，把制造水平从28nm制程提升到22nm制程◈◈，但要一口气考上清华◈◈，搞定7nm制程◈◈，还是很难◈◈。
一颗头◈◈，有十几万根头发◈◈。要一次全部梳到位◈◈，那就造个至少也有十几万根梳齿的梳子◈◈。
把它拆分成线条间隔更疏朗的三个“图层”◈◈，再做成三张“掩膜版”◈◈，一张一张“刻”◈◈。最后◈◈，不也能套叠成一整张完整的“上海地图”？
所谓的LELE工艺◈◈，LFLE工艺◈◈，SAPD工艺◈◈，本质上都是多重曝光◈◈，多刻几次的办法◈◈。
首先◈◈，人家用一张掩膜版◈◈，曝光一次◈◈。你用三张掩膜版◈◈，曝光三次◈◈。谁在成本和效率上更有竞争力？
其次◈◈，要把全头梳到位◈◈，至少得梳一次◈◈，动一下手◈◈，把梳子对准到另一个位置梳吧？
一层一层地“刻”时凯发K8国际娱乐官网入口◈◈，又怎么保证最后几张套叠在一起时◈◈，能100%完全吻合？
芯片的制造◈◈，不止是一道技术题◈◈，还是一道经济题◈◈。除了“能不能做”凯发K8国际娱乐官网入口◈◈，还要兼顾“值不值得”◈◈。
用DUV光刻设备通过多重曝光制造7nm芯片◈◈，或许可以帮忙够到高一点的地方◈◈，但也有代价和天花板◈◈。
所以今天◈◈，很多资料都认为◈◈，综合考虑下来◈◈，就算加上浸没式光刻和多重曝光◈◈，造7nm芯片也几乎是DUV光刻设备的天花板了◈◈。
要继续往前◈◈，制造7nm芯片◈◈，乃至更先进的 5nm芯片◈◈，3nm芯片◈◈，还得靠EUV光刻设备◈◈。
如果说“用DUV光刻机造出7nm芯片”的难度系数是“过万重山”◈◈，那么“造出一台EUV光刻机”的难度系数◈◈，就是“过万重珠穆朗玛峰”◈◈。
手不能停◈◈。要保持每秒钟至少连续轰击50000次◈◈，才能保证它一直崩溃◈◈，一直电离◈◈，你一直有光◈◈，刻得很稳◈◈。
波长越短的光◈◈，有一个不靠谱的特点◈◈：很容易被吸收◈◈，还没投到光刻胶那里开始干活◈◈，就已经散得差不多了◈◈。
目前的EUV光刻机里◈◈，设了很多“镜子”◈◈，也就是聚焦反射器◈◈，来确保EUV的光◈◈，能更少被半路吸收◈◈，更安全地到达光刻胶◈◈。
翻译成普通话来说◈◈：如果把这面“镜子”放大到地球那么大◈◈，它上面只允许有一根头发丝那么细的凸起◈◈。
这◈◈，就是要造出一台和别人现在用的差不多的EUV光刻机◈◈，至少要爬的几座山峰◈◈。
“此次官宣的国产光刻机◈◈，是一个套刻≤8nm◈◈，分辨率65nm◈◈，干式◈◈，波长193nm◈◈，DUV光刻机◈◈。”
“套刻≤8nm”◈◈，指的只是一个“梳头”时的误差◈◈，而不是“可以造出7nm芯片”的水平◈◈。
“分辨率65nm”◈◈，意味着有机会能刻出65nm芯片◈◈，不计代价多重曝光的线nm芯片◈◈。
“波长193nm的DUV光刻机”◈◈，意味着前方还有一座“波长可以短到13.5nm的EUV光刻机”的珠穆朗玛峰要翻◈◈。
什么时候◈◈，我们才能线nm制程◈◈，乃至更先进◈◈，更能和世界水平比肩的国产光刻机◈◈，不再被卡脖子？
这几天◈◈，有人说◈◈，还很远◈◈。“可能还要十几年◈◈，因为世界当前最先进的ASML◈◈，走完这段路就是花了十几年◈◈。”
但很快◈◈，也有人说◈◈，不好说◈◈。“ASML花十几年做出来的背后◈◈，有全球几十个国家的合作◈◈，和国内外数千家供应商的配合◈◈。”
嗯◈◈，听说过◈◈。可是◈◈，各有各的说法我也是花下载◈◈，那我怎么判断？有没有◈◈，来自更前线的说法？
今年的手机发布会上◈◈，华为没有多说◈◈。但9月19日◈◈，华为副董事长◈◈、轮值董事长徐直军在华为的另一场大会上◈◈，曾简单说过2句◈◈：
1◈◈，“中国大陆的芯片工艺制造将在很长一段时间处于落后◈◈，我们要做好长期的算力解决方案◈◈。”
什么是“推广”？很先进◈◈，且可量产的◈◈。而投入量产的工厂之外◈◈，往往还有更先进的实验室◈◈。
再前几天◈◈，刷到“华为”的热搜我也是花下载◈◈，排在它下面的那一条是国产大飞机“C919”的量产和交付◈◈；
再之前呢？国家统计局公布了2024年上半年国民经济运行情况◈◈，其中◈◈，高技术产业投资同比增长10.6%◈◈，快于全部投资6.7个百分点......
确实◈◈，从没有7nm芯片◈◈，到拥有7nm芯片◈◈。从DUV◈◈，到EUV◈◈。从一份新文件◈◈，到一种新算力◈◈。
